09
2025
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07
EPD certificate
所屬分類:
【概要描述】The functional unit is one square meter of fooring over a 75-year period
整合氣體減壓閥門、壓力控制面板、氣體終端模塊、擴展模板及配套管閥配件,將獨立的版塊重新組合,實現(xiàn)了統(tǒng)一、高效的流體控制系統(tǒng),行業(yè)涉及“氫能、光伏、半導(dǎo)體、醫(yī)療及石化”等領(lǐng)域。特別是在半導(dǎo)體制造中的刻蝕、擴散、離子注入、薄膜沉積和黃光工藝等關(guān)鍵制程為客戶提供完整的氣體控制系統(tǒng)解決方案及定制服務(wù)。
未來,將繼續(xù)以推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展為己任,持續(xù)加大流體系統(tǒng)研發(fā)投入,攻堅克難,為實現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)跨越式發(fā)展提供強勁動力。
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